真空鍍膜機技術的先驅是一位德國的教授——馬克斯·奧維將，作為開創者，他在上個世紀的30年代開始了光學薄膜鍍層的研究。此后歷經半個世紀的發展，薄膜應用已經涉及到各個行業領域中，接下來了解有哪些相關的行業應用。

1、電子學領域

在電子學領域中應用，真空鍍膜技術的存在保障了集成電路的高度集成、性能、可靠性、生產效率等。 影響頗大，據估計，將近50%的大型集成電路工藝都是與真空設備掛鉤的，對于超大規模集成電路的開發的占比則更大，所需的真空工藝和設備要占據大約四分之三之多。

2、超導技術行業

在超導技術行業中的應用，常見的鍍膜例子：高純度Nb超導濺射膜、InSb非晶超導膜、V-Hf-Zr系超導膜、Nb-（Cu）系超導膜、Nb-Ge系超導膜等。

3、航空領域

航天領域的設備要求能適應高溫、射線輻照、西安超高真空的環境，對于這種環境下工作的設備，采用液體潤滑劑等方法已不不著見效了，面對不可避免的高溫、摩擦、磨損、磨蝕、氧化、氣蝕、腐蝕、滲漏等因素影響，固體潤滑膜是必不可少的。航空設備所涉及各種螺絲、齒輪、軸承、儀器等部件常用真空蒸發鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍膜等工藝鍍上膜層。例如高溫渦輪發動機，濺射鍍上Co-Cr-Al-Y合金膜層于其葉片上，可明顯提高發動機的耐腐蝕性能、抗氧化性能、耐高溫性能。

4、新能源領域

各種結構的薄膜太陽能電池，如非晶硅、Ⅱ-Ⅳ族（如Cds-Cu?S）、Ⅲ-Ⅴ族（如CaAs）等薄膜太陽能電池。鍍一層CaO、ln?O?、SnO?等金屬氧化物薄膜在石英玻璃上可用于太陽能集熱器當中；鍍一層CaAs、InP等多晶半導體薄膜于基材之上則可用于太陽能電池或太陽能發電系統之中。

5、機械領域

在機械制造業領域當中的真空鍍膜技術，刀具鍍層便是一種廣泛的典型應用，刀具鍍層以TiC、TiN及其復合鍍層為主，此外還有Al?O?等，刀具鍍層通常厚度是2μm-10μm之間。普通的刀具、鉆頭、絲錐等工具經由TiN鍍膜，可提高生產率與切削的速度；對于工模具、量刃具、精密設備軸承與易損器件經由耐磨鍍層（如TiC等）處理，可延長機械使用壽命。

6、聲學方面

在聲學方面常見一種ZnO膜，氧化鋅薄膜溫度性能好、機電耦合系數大，容易在非壓電基板作擇優取向，氧化鋅是一種優異的壓電膜材料。

7、實驗鍍膜

在反應堆燃料元件表面通過離子鍍上鋁膜可達到防腐蝕的效果；在受控熱核反應堆的一些低原子序數、高熔點材料（如TiB?、B?C、TiC等）薄膜，可形成表面保護、高溫保護等。

以上列舉的是一些真空鍍膜行業常見的應用領域，此外，真空鍍膜還在裝飾、包裝、復印設備、手工藝制造、敏感測量元件、紅外線技術、激光同位素分離技術等方面的都占有一席之地。