真空鍍膜機(jī)技術(shù)的先驅(qū)是一位德國(guó)的教授——馬克斯·奧維將，作為開創(chuàng)者，他在上個(gè)世紀(jì)的30年代開始了光學(xué)薄膜鍍層的研究。此后歷經(jīng)半個(gè)世紀(jì)的發(fā)展，薄膜應(yīng)用已經(jīng)涉及到各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域中，接下來(lái)了解有哪些相關(guān)的行業(yè)應(yīng)用。

1、電子學(xué)領(lǐng)域

在電子學(xué)領(lǐng)域中應(yīng)用，真空鍍膜技術(shù)的存在保障了集成電路的高度集成、性能、可靠性、生產(chǎn)效率等。 影響頗大，據(jù)估計(jì)，將近50%的大型集成電路工藝都是與真空設(shè)備掛鉤的，對(duì)于超大規(guī)模集成電路的開發(fā)的占比則更大，所需的真空工藝和設(shè)備要占據(jù)大約四分之三之多。

2、超導(dǎo)技術(shù)行業(yè)

在超導(dǎo)技術(shù)行業(yè)中的應(yīng)用，常見的鍍膜例子：高純度Nb超導(dǎo)濺射膜、InSb非晶超導(dǎo)膜、V-Hf-Zr系超導(dǎo)膜、Nb-（Cu）系超導(dǎo)膜、Nb-Ge系超導(dǎo)膜等。

3、航空領(lǐng)域

航天領(lǐng)域的設(shè)備要求能適應(yīng)高溫、射線輻照、寧波超高真空的環(huán)境，對(duì)于這種環(huán)境下工作的設(shè)備，采用液體潤(rùn)滑劑等方法已不不著見效了，面對(duì)不可避免的高溫、摩擦、磨損、磨蝕、氧化、氣蝕、腐蝕、滲漏等因素影響，固體潤(rùn)滑膜是必不可少的。航空設(shè)備所涉及各種螺絲、齒輪、軸承、儀器等部件常用真空蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍膜等工藝鍍上膜層。例如高溫渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)，濺射鍍上Co-Cr-Al-Y合金膜層于其葉片上，可明顯提高發(fā)動(dòng)機(jī)的耐腐蝕性能、抗氧化性能、耐高溫性能。

4、新能源領(lǐng)域

各種結(jié)構(gòu)的薄膜太陽(yáng)能電池，如非晶硅、Ⅱ-Ⅳ族（如Cds-Cu?S）、Ⅲ-Ⅴ族（如CaAs）等薄膜太陽(yáng)能電池。鍍一層CaO、ln?O?、SnO?等金屬氧化物薄膜在石英玻璃上可用于太陽(yáng)能集熱器當(dāng)中；鍍一層CaAs、InP等多晶半導(dǎo)體薄膜于基材之上則可用于太陽(yáng)能電池或太陽(yáng)能發(fā)電系統(tǒng)之中。

5、機(jī)械領(lǐng)域

在機(jī)械制造業(yè)領(lǐng)域當(dāng)中的真空鍍膜技術(shù)，刀具鍍層便是一種廣泛的典型應(yīng)用，刀具鍍層以TiC、TiN及其復(fù)合鍍層為主，此外還有Al?O?等，刀具鍍層通常厚度是2μm-10μm之間。普通的刀具、鉆頭、絲錐等工具經(jīng)由TiN鍍膜，可提高生產(chǎn)率與切削的速度；對(duì)于工模具、量刃具、精密設(shè)備軸承與易損器件經(jīng)由耐磨鍍層（如TiC等）處理，可延長(zhǎng)機(jī)械使用壽命。

6、聲學(xué)方面

在聲學(xué)方面常見一種ZnO膜，氧化鋅薄膜溫度性能好、機(jī)電耦合系數(shù)大，容易在非壓電基板作擇優(yōu)取向，氧化鋅是一種優(yōu)異的壓電膜材料。

7、實(shí)驗(yàn)鍍膜

在反應(yīng)堆燃料元件表面通過離子鍍上鋁膜可達(dá)到防腐蝕的效果；在受控?zé)岷朔磻?yīng)堆的一些低原子序數(shù)、高熔點(diǎn)材料（如TiB?、B?C、TiC等）薄膜，可形成表面保護(hù)、高溫保護(hù)等。

以上列舉的是一些真空鍍膜行業(yè)常見的應(yīng)用領(lǐng)域，此外，真空鍍膜還在裝飾、包裝、復(fù)印設(shè)備、手工藝制造、敏感測(cè)量元件、紅外線技術(shù)、激光同位素分離技術(shù)等方面的都占有一席之地。